VAT控制蝶阀

VAT控制蝶阀在所有条件下均能实现出色的压力控制；凭借其快速且精准的作用动作控制器（0.1秒），61.3系列控制阀成为CVD和ALD工艺中精细控制的理想解决方案。阀板可充当节流元件，改变阀门开度的流导特性。61.3系列压力控制蝶阀的集成压力控制器可计算所需的阀板位置，以尽快实现设定压力。该系列产品专为气流中有粒子的恶劣下游工艺设计。即使粒子载荷高并且存在因设计而沉积的碎屑，61.3蝶形控制阀仍能够保持精确正常运行。

61.3系列控制阀已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其稳定的可靠性。凭借坚固的设计、直接安装选项，以及简单且轻松的维护，61.3系列控制阀在各个方面都令人信服。

阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定PI下游/软抽）方面的各种设计选项可简化在不同真空应用中的集成。

VAT控制蝶阀的主要特点：

1.稳定的压力控制；

2.运行非常快；

3.板载软件，用于本地运行；

4.恶劣工艺条件下可实现可靠运行；

5.工艺可控性更好；

6.正常运行时间长/性能不受限；

7.运行成本低。

61.3蝶形控制阀采用铝或不锈钢制成，标准法兰连接器为ISO-KF和ISO-F，可以集成客户定制法兰和特殊功能，如集成式绝缘加热器。可根据要求提供各种全氟橡胶/氟橡胶弹性体（氟橡胶为标准选项）。

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